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MY-718 SF6 气体抽真空装置技术条件:
真空泵:CUIMAN RTO/70SW罗茨真空泵 +德国LEYBOLD独资D40C旋片泵或德国BAOSI 独资 BSV40泵
极限真空度:0.04mbar / 4*10-4 mbar
抽速:250+40m3/丑(在入气口不小于20尘尘的情况下,每立方米容积抽真空时间小于15-30分钟)
功率:3KW 380V 50Hz
进气口:20mm,可选择1-4路抽真空系统
元件
真空泵:2台
数字真空计:1只
DISPLAY:0-105Pa
阀门:2-5只 DN15不锈钢真空压力球阀
接口、连接头:1-4只
机架:1只
连接管道:1-4根(DN20)5-8M
控制电器:380V 50Hz
相序控制器:1套